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OTFC-1300DBI
OTFC-1300DBI
产品名:
OTFC-1300DBI
型 式:
产品参数:
 
产品名:  
OTFC-1300DBI  
型 式:  
1300DBI  
产品参数:  
   
真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架  Ф1130mm
工件架转速 10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制  HOM2-R-VIS350A 
光学膜厚监控仪  波长范围:350nm to 1100nm 
反射式/透射式
水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源  电子枪2套 
离子源 17cmRF离子源
排气系统 机械泵
2个扩散泵
Polycold(或2个冷凝泵)
   
   
   
性 能  
   
达到压力 7.0×10-5Pa以下
排气时间  15分
(大气压~1.3×10-3Pa)
基板温度 最高:350℃
   
工作条件  
   
设备尺寸 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H) 
电源 3相,200v,50/60Hz, 约104KVA 
水流量 140升/分以上
空气压力 0.5MPa以上 
重量 约9000kg