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OTFC-1800DBI
OTFC-1800DBI
产品名:
OTFC-1800DBI
型 式:
1800DBI
产品参数:
 
产品名:  
OTFC-1800DBI  
 
型 式:
 
1800DBI  
 
产品参数:
 
   
真空室   SUS304,
Ф1800×1900mm(H) 
工件架 Ф1600mm  
工件架转速   10rpm to 30rpm(可变) 
光学膜厚控制  HOM2-R-VIS350A 
光学膜厚监控仪  波长范围:350nm to 1100nm 
反射式/透射式
水晶式膜厚计  XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套 
离子源 23cmRF离子源
排气系统   机械泵
2个扩散泵
Polycold(或2个冷凝泵)
   
   
 性 能  
   
达到压力   7.0×10-5Pa以下
排气时间   20分
(大气压~1.3×10-3Pa)
基板温度  最高:350℃
   
 工作条件  
   
设备尺寸  约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
电源  3相,200v,50/60Hz,
约152KVA
水流量   180升/分以上
空气压力  0.5MPa以上
重量  约11000kg